薄膜应力测验仪

---

  

  美国FSM 薄膜应力及基底翘曲测验设备：在衬底镀上不同的薄膜后, 由于两者原料不一样，以及不同的资料不一样的温度下特性不一样, 所以会引起应力。 如应力太大会引起薄膜掉落, 引致组件失效或可靠性欠安的问题。 薄膜应力激光丈量仪使用激光丈量样本的描摹,透过比较镀膜前后衬底曲率半径的改变, 以Stoney’s Equation计算出应力, 是品检及改善工艺的有/效手法。

  美国FSM 高温薄膜应力及基底翘曲测验设备：美国FSM成立于1988年，总部在圣何塞，多年来为半导体职业等高新职业供给各式精细的丈量设备。

  StrainScope Flex可调式实时应力仪 产品具有丈量速度快、精度高、重复性好等特色，对大尺度样品可拼接丈量。其应力丈量设备用户包含肖特、卡尔-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等闻名公司。应用领域包含光学资料、医用包装资料、高分子类密封资料等。

  实时型StrainScope S3/S4 应力仪 产品具有丈量速度快、精度高、重复性好等特色，对大尺度样品可拼接丈量。其应力丈量设备用户包含肖特、卡尔-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等闻名公司。应用领域包含光学资料、医用包装资料、高分子类密封资料等。

  拼接型StrainMatic stepper应力仪 产品具有丈量速度快、精度高、重复性好等特色，对大尺度样品可拼接丈量。其应力丈量设备用户广，用户包含肖特、卡尔-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等闻名公司。应用领域包含光学资料、医用包装资料、高分子类密封资料等。

  德国ilis公司成立于1998年，专业研制制作高精度应力双折射剖析软件与丈量设备，薄膜应力测验仪选用成像式光弹原理，直接丈量光推迟，可以敏捷给出高分辨率的高精度丈量成果。