中科飞测首台晶圆平整度丈量设备出货HBM客户端

  财联社11月22日电，据中科飞测音讯，近来，中科飞测首台晶圆平整度丈量设备——GINKGOIFM-P300出货HBM客户端。GINKGOIFM-P300的成功推出，标志着我国在该范畴完成了重大打破，打破了国外厂商的长时间独占，打破国内设备对超高翘曲晶圆、低反射率晶圆的量测约束，一起支撑键合后晶圆、化合物半导体衬底（SiC/GaAs）的全参数检测。

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